激光掃描顯微鏡的優(yōu)勢(shì) 非接觸式、無(wú)損、快速成像和測(cè)量 ○ 非接觸式、無(wú)損測(cè)量 激光掃描顯微鏡（LSM）采用低功率激光，不接觸樣品。因此，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x那樣存在損壞樣品的風(fēng)險(xiǎn)。 ○ 無(wú)需前期準(zhǔn)備即可成像 掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進(jìn)行前期的樣品準(zhǔn)備，如真空脫水和/或切片處理，使之適合樣品室。而LSM則無(wú)需前期的樣品準(zhǔn)備即可對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量。而且，將樣品放置在載物臺(tái)上之后，即可直接開(kāi)始成像。 卓越的XY測(cè)量 ○ 在XY平面精確測(cè)量亞微米級(jí)的距離 干涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡，它的平面分辨率不高。而LSM通過(guò)采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長(zhǎng)的光波，極大地提高了平面分辨率。并且通過(guò)高精度的激光控制技術(shù)，獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進(jìn)行非常精確的XY平面亞微米測(cè)量。LEXT OLS4100達(dá)到了0.12??m的平面分辨率。 聯(lián)系人 區(qū)經(jīng)理 電話 13823581593 QQ 2868059266 地址 深圳市福田區(qū)八卦三路88號(hào)榮生大廈702室 固定電話：0755-25870896 網(wǎng)址 www.ges-tech.cn