太陽能電池片生產(chǎn)車間
太陽能電池片生產(chǎn)車間的潔凈度一般為萬級、十萬級，核心部分千級。
太陽能電池片的生產(chǎn)?程：
裝片 → 超聲波清洗→ 制絨 →?電極絲網(wǎng)印刷及烘干?PECVD→?IPA脫水→?→去磷硅玻璃 →?→等離子體邊緣刻蝕?去離子水清洗 → IPA 脫水 → 擴(kuò)散 包裝入庫?→ 分類檢測→?電極燒結(jié)
其中：擴(kuò)散、PECVD、燒結(jié)是關(guān)鍵工序,各工序必須制訂嚴(yán)格的工藝要求和工藝參數(shù)
車間溫濕度要求
由于制程工藝特殊性，所要求的送、排風(fēng)、送、排水管道多，且風(fēng)?大，因此建議車間的層高為 5-6m，其中車間的吊頂 高?為 3.0m.周邊設(shè)施需配制的機(jī)房有：純水機(jī)房、酸排處?塔、有機(jī)氣體處?機(jī)房、硅烷燃燒塔、廢水處?機(jī)房、?卻水泵房、空調(diào)風(fēng)柜及冰水主機(jī)房、壓縮空氣及其它特氣機(jī)房。機(jī)房大小根據(jù)機(jī)臺的需求?來選定。
主體結(jié)構(gòu)為鋼結(jié)構(gòu)的廠房需為各種管道配制承重的二次鋼結(jié)構(gòu)，二次鋼結(jié)構(gòu)的高?為 5-6m
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5ｕM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。