基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)： 　　　　型 號： FUNCTION 564 n 行 程： X軸 500 mm Y軸 600 mm Z軸 400 mm ˉ 結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式 ˉ 傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承 ˉ 長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm ˉ 機(jī) 臺(tái)：高精度（00級）花崗巖平臺(tái) ˉ 使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h ˉ 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa ˉ 空氣流量：120 L/min – 140 L/min ˉ 整機(jī)尺寸(LWH)：1.2m X 1.4 m X 2.3 m ˉ 機(jī)臺(tái)承重：500 kg ，整機(jī)重量：850 Kg 空間測量精度：（2.80+L/300）μm