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一．能譜儀基本介紹 
X 射線熒光分析技術(shù)（ XRF ，又稱 X 射線熒光光譜儀）作為一種快速分析手段， 為我國(guó)的相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時(shí)的，檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對(duì)于其他分析方法（例如：發(fā)射光譜、吸收光譜、分光光度計(jì)、色譜質(zhì)譜等）， XRF 具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理、快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)作為過(guò)程控制和檢測(cè)使用。 
X 射線熒光分析技術(shù)可以分為兩大類型：能量色散 X 射線熒光分析（ EDXRF ，以下我們簡(jiǎn)稱能量色散）和波長(zhǎng)色散 X 射線熒光分析(WDXRF，以下我們簡(jiǎn)稱波長(zhǎng)色散）；而能量色散型又根據(jù)探測(cè)器的類型分為（ Si-PIN ）型和 SDD 型。在不同的應(yīng)用條件下，這幾種類型的技術(shù)各有其突出的特點(diǎn)；以下將針對(duì)歐盟 ROHS & WEEE 指令的具體應(yīng)用情況，對(duì)能量色散和波長(zhǎng)色散進(jìn)行比較和說(shuō)明： 
儀器 類型 波長(zhǎng)色散 能量色散 
性能 指標(biāo) （ Si-PIN ）型 （SDD ）型 
測(cè)量精度 20--50ppm   200--300ppm    100--200ppm 
測(cè)量時(shí)間 
1--2分鐘 
4--6 分鐘 
3--5 分鐘 
被測(cè)樣品要求 
規(guī)則形狀 需要制樣 
可以不規(guī)則形狀 
可以不規(guī)則形狀 
被測(cè)元素類型 
輕元素 
重元素 
重元素 
最佳應(yīng)用范圍 
原料，半成品 
成品，電子元器件 
原料、半成品，成品，電子元器件 
能量分辨率 
高，約 15eV 
較低，約 160eV 
較低，約 160eV 
熒光強(qiáng)度 
高 
低 
較高 
技術(shù)復(fù)雜程度 
復(fù)雜 
簡(jiǎn)單 
較復(fù)雜 
使用壽命 
＞ 10 年 
＞ 5 年 
儀器造價(jià) 
高 
較低 
高 
1 、測(cè)量精度： 盡管目前各家能量色散儀器（均為 Si-PIN 類型）生產(chǎn)商和銷售商都給出了很高的技術(shù)指標(biāo)，但在實(shí)際應(yīng)用中（特別在被測(cè)樣品不進(jìn)行處理的情況下），真正可以期待的準(zhǔn)確度都在 200~300ppm 之間（測(cè)量塑料中有害元素時(shí)，準(zhǔn)確度會(huì)好一些；對(duì)不規(guī)則樣品，則精度會(huì)更差）；同時(shí)，對(duì)于同類型的儀器，進(jìn)口儀器的指標(biāo)和國(guó)產(chǎn)儀器之間并沒有本質(zhì)差別（基本配置），但進(jìn)口儀器的價(jià)格卻昂貴很多。波長(zhǎng)色散測(cè)量準(zhǔn)確度比能量色散類型要高一個(gè)數(shù)量級(jí)，基本在 20~50ppm 左右。 
  2 、測(cè)量時(shí)間： 由于波長(zhǎng)色散配備較大功率的 X 光管，熒光強(qiáng)度高；因此，波長(zhǎng)色散儀器占用較短的測(cè)量時(shí)間，便能達(dá)到較高的測(cè)量精度。 
  3 、被測(cè)量樣品的要求： 由于技術(shù)特點(diǎn)的差異，波長(zhǎng)色散需要對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單的處理；對(duì)固體樣品的一般處理方法是將被測(cè)量樣品表面打磨光滑，對(duì)粉末和其他樣品可以采用磨細(xì)后進(jìn)行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場(chǎng)上很容易找到。能量色散型儀器最大的優(yōu)勢(shì)在于：可以對(duì)樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測(cè)量，對(duì)樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過(guò)程控制中；但需要強(qiáng)調(diào)指出的是：從熒光理論上講，被測(cè)量樣品的預(yù)先處理是必須的，對(duì)于能量色散儀器來(lái)說(shuō)，我們可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來(lái)滿足實(shí)際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對(duì)不規(guī)則樣品的直接測(cè)量也是以犧牲測(cè)量準(zhǔn)確度作為代價(jià)的。 
  4 、最佳應(yīng)用范圍： 由于波長(zhǎng)色散和能量色散類型各自的技術(shù)特點(diǎn)，兩種類型儀器所側(cè)重的應(yīng)用方案也不盡相同；波長(zhǎng)色散具有較高的測(cè)量精度，但同時(shí)需要對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單處理，更適用于進(jìn)廠原材料、半成品、成品的精確檢測(cè)和質(zhì)量控制；能量色散雖然測(cè)量精度稍差，但具有快速、直接測(cè)量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測(cè)。 
  5 、能量分辨率： 能量分辨率是儀器的主要指標(biāo)，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越好。 
  6 、熒光強(qiáng)度： 對(duì)于儀器來(lái)說(shuō)，各元素含量與該元素的熒光強(qiáng)度成正比關(guān)系；熒光強(qiáng)度越高，則統(tǒng)計(jì)誤差越小，測(cè)量的準(zhǔn)確度越高，儀器性能越好。 
7 、