·特性：Agilent E4991A帶寬頻率覆蓋1 MHz 到 1 GHz的范圍，能提供完整的介電/磁性材料測量解決方案。 
·晶圓測量：借助E4991A-010 探針臺連接套件，客戶可輕松地地將 Agilent E4991A 連接到射頻探頭系統(tǒng)（由 Cascade Microtech 提供）上進(jìn)行晶圓測量。 
·溫度特性評估：溫度特性測試套件 E4991A-007 是一款為元器件和材料進(jìn)行溫度特性測量的新型解決方案。該選件可在 - 55°C 至 + 150°C 廣泛的溫度范圍內(nèi)提供高精度的溫度特性分析功能，以及                強(qiáng)大的溫度漂移補(bǔ)償功能。
 
Agilent E4991A射頻阻抗/材料分析儀提供極限阻抗測量性能和功能強(qiáng)大的內(nèi)置分析功能.
·基本精度： +/-0.8% 
·掃描參數(shù)
·頻率：1 MHz 至 3 GHz 
·振蕩器電平：高達(dá) 1 dBm/0.5 Vrms/10 mArms 
·DC 偏置電平（選件 E4991A-001）：+/- 40V 或 +/- 50 mA 

Agilent E4991A射頻阻抗/材料分析儀更多特性：
·內(nèi)置 VBA 編程功能 
·通過 LAN 接口進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸 
·多功能測量選件
 --介電/磁性材料測量（選件 E4991A-002） 
 --可靠的晶圓測量（選件 E4991A-010） 
 --溫度特性測量（選件 E4991A-007）