本儀器所使用的影像測量技術、圖像處理技術、 自動調焦技術、亞象素尋邊技術測量分析軟件極大提高測量精度和測量效率。儀器光學系統品質優良，物鏡成像清晰，倍率廣泛。提供物體輪廓（透射）和表面（反射）同軸照明，保證物體影像清晰。導軌、絲杠、光柵尺、電機等關鍵部件全部選用國外著名品牌，保證系統的高質量和高可靠性。
自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。優質運動控制器和圖像傳感器，保證高品質圖像質量和工作臺的低噪音平穩運動。 X、Y、Z軸全部電機閉環控制運動，Z軸裝有粗微調焦手輪調節以適應測量工件高度要求。多種形位尺寸(幾何元素)測量，點、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關系，圓度、球度、平面度等形狀公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動三維采點測量，按國標GB11337-98的各種方法自動進行平面度誤差檢測。提供測量編程指令，具有自學習編程功能，自動批量快速測量，大大提高檢測效率。
人性化方便的運動控制和多種方式的測量功能，編程和自學習，成倍提高測量效率。系統提供多達20個機械坐標和工件坐標。無需轉臺，實時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數。無需傾斜臺，對物體基準面進行數學找正，避免物理找正的煩瑣。提供強大的數理統計分析和數據庫功能：統計參數計算，正態、歷史、直方圖、X2、T、F分布，X2、T、F檢驗，單因素方差分析和相關性檢驗等。輸出結果形式多樣，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應用軟件使用。幾何形狀測量與構造實時圖形的直觀顯示，利于測量檢查。提供在線幫助功能，操作簡便，易學易用。
技術參數
工作臺行程 標配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm 
選配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm 
光學尺分辨率 標配：0.001mm閉式; 選配：0.0005mm,0.0001mm開式 
重復定位精度 X,Y,Z: ≤0.0015mm 
重復調焦精度（倍率大于150X） ≤0.0015mm 
系統不確定度 分辨率為0.001mm時：X,Y: (3.0+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm 
分辨率為0.0005mm時：X,Y: (1.5+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm 
分辨率為0.0001mm時：X,Y: (0.5+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm 


備注： L為測量長度，T為工作臺行程。
儀器配置
部件名稱 規格(標配) 選件 備注 
CCD工業攝像頭 彩色CCD(1/2”) 黑白CCD(1/2”) 復合或標準視頻 
工業顯微鏡 連續變倍：1:12
1.5X物鏡 （50～500X） 連續變倍：0.7-4.5X;
工業內照明高倍率長工作距顯微鏡，物鏡倍率：3X～100X C-Mount接口 
計算機系統 商用PC，98/2000/XP 工業控制機 ,彩色噴墨打印機   
測量控制軟件 TDYMS V60CNC     
底座 花崗石00級     
照明光源 LED燈 外接照明   
工作臺行程
(測量范圍) X:150mm,Y:150mm，Z:100mm X:100-400mm，Y:100-200mm
Z:100-200mm Z軸帶有粗微調機構,以滿足不同高度工件的測量 (80mm 范圍) 
驅動方式 X、Y、Z：CNC電動 JOG控制盒   
驅動電機 三相步進電機 伺服電機