VPSA制氧機(jī)裝置工作原理：利用環(huán)境溫度下，空氣中氮?dú)夂脱鯕庠诜惺肿雍Y（ZMS）上的吸附性能不同（氧氣能通過而氮?dú)獗晃剑O(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)墓に囘^程，而使氮和氧分離制得氧氣。氮?dú)庠诜惺雍Y上的吸附能力比氧氣強(qiáng)（氮與分子篩表面離子的作用力強(qiáng)），當(dāng)空氣在加壓狀態(tài)下通過裝有沸石分子篩吸附劑的吸附床時(shí)，氮?dú)獗环肿雍Y吸附，氧氣因吸附較少，在氣相中得到富集并流出吸附床，使氧氣和氮?dú)夥蛛x獲得氧氣。當(dāng)分子篩吸附氮?dú)庵两咏柡秃螅Ｖ雇諝獠⒔档臀酱驳膲毫Γ肿雍Y吸附的氮?dú)獗憧梢越馕鰜恚肿雍Y得到再生并可重復(fù)利用。兩個(gè)以上的吸附床輪流切換工作，便可連續(xù)生產(chǎn)出氧氣。