催化燃燒設備催化劑的首要功能指標：在空速較高，溫度較低的條件下，有機廢氣的燃燒反響轉化率挨近，標明該催化劑的活性較高。催化劑的活性分誘導活化、安穩、變老失活3個階段，有必定的運用限期，工業上有用催化劑的壽命一般在2年以上。催化燃燒設備分別是直接燃燒和催化氧化燃燒。直接燃燒法是指當燃燒氣體的同時，通過氧化及高溫下的熱分解的方法，將燃燒室中有害的VOCs進行降解，將有害的VOCs氣體輸入到燃燒室后，當高溫、充足空氣等客觀因素條件完善的前提下，將有害廢氣充分燃燒完全，*終使其完全分解成CO2和H2O。而直接燃燒法就是燃燒可燃的這一類VOCs廢氣，該方法在處理高濃度VOCs廢氣方面，表現出的效果較佳，但相應的對溫度的控制要求很高，必須在高溫的條件下，當溫度在1100℃附近，去除效率可達95%以上，但是如果當廢氣中含有Cl、S、N等元素時，則直接燃燒法會產生HCl、SOx、NOx等有害氣體，造成二次污染。