等離子清洗機在半導體、電子材料干式清洗中的應用越來越廣泛，如硅晶片的光刻膠剝離、除去有機膜、界面活性化、微細研磨、除去碳化膜等領域，日本雅馬拓YAMATO等離子清洗設備都發揮了積極作業。
除了半導體相關的清洗用途外，日本雅馬拓YAMATO等離子清洗設備在其他各種領域也都有廣泛應用，如與生物、醫學相關的微芯片強度和流道親水性的提高，眼鏡鏡片涂裝前的處理，石棉分析前的處理，高分子材料粘合強度的提高，液晶屏粘合強度的提高等。
等離子清洗機主要使用目的

■高分子材料表面官能基粘合性，.浚和儀器|||雅馬拓YAMATO等離子清洗機經銷商
，貼合性提升。通過氧化反應，在表面生成-OH，
＞C=O，浚和（上海）儀器有限公司，浚和儀器，-COOH等官能基（微量的水分和二氧化碳影響）。
即使是氮氣等離子，表面被氮氣原子包裹，.浚和儀器|||雅馬拓YAMATO等離子清洗機經銷商
，也會生成-NH2的官能基。
■器件等保護膜脫離。
■原材料（金屬，高分子，膠片，陶瓷等）表面改質。
■石棉前處理（膜濾器的灰化）。
■從電子器件到生物化學市場都可使用。
■PDMS芯片和玻璃，PDMS板的貼合。
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確PM100型可以覆蓋實驗室大部分的清洗、活化、表面改性工藝；標配石英腔閂體，非常適合于實驗室處理比較純凈的樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染；裝載有溫度、壓力、等離子發生器異常等三層報jing扌燈，可實時監測和了解機器的運轉狀態；裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報jing等安全功能；清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理，而且沒有污染產生，環保；鉸鏈門帶觀察窗可以方便觀察腔體內樣品的情況以及等離子起輝的情況。

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