等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體、電子材料干式清洗中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，如硅晶片的光刻膠剝離、除去有機(jī)膜、界面活性化、微細(xì)研磨、除去碳化膜等領(lǐng)域，日本雅馬拓YAMATO等離子清洗設(shè)備都發(fā)揮了積極作業(yè)。
除了半導(dǎo)體相關(guān)的清洗用途外，日本雅馬拓YAMATO等離子清洗設(shè)備在其他各種領(lǐng)域也都有廣泛應(yīng)用，如與生物、醫(yī)學(xué)相關(guān)的微芯片強(qiáng)度和流道親水性的提高，眼鏡鏡片涂裝前的處理，石棉分析前的處理，高分子材料粘合強(qiáng)度的提高，液晶屏粘合強(qiáng)度的提高等。
等離子清洗機(jī)主要使用目的

■高分子材料表面官能基粘合性，貼合性提升。通過(guò)氧化反應(yīng)，在表面生成-OH，
＞C=氵O，-COOH等官能基（微量的水分和二氧化碳影響）。
即使是氮?dú)獾入x子，浚和（上海）儀器有限公司，浚和儀器，表面被氮?dú)庠影矔?huì)生成-NH2的官能基。
■器件等保護(hù)膜脫離。
■原材料（金屬，高分子，膠片，陶瓷等）表面改質(zhì)。
■石棉前處理（膜濾器的灰化）。
■從電子器件到生物化學(xué)市場(chǎng)都可使用。
■PDMS芯片和玻璃，PDMS板的貼合。
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確PM100型可以覆蓋實(shí)驗(yàn)室大部分的清洗、活化、表面改性工藝；標(biāo)配石英腔體，非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的樣品，無(wú)需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴荆谎b載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)jing燈，.浚和儀器___r小型等離子清洗機(jī)
，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)；裝載有過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報(bào)jing等安全功能；清洗過(guò)程中，溫升很灬小，.浚和儀器___r小型等離子清洗機(jī)
，基本可達(dá)到常溫處理，而且沒(méi)有污染產(chǎn)生，環(huán)保；鉸鏈門帶觀察窗可以方便觀察腔體內(nèi)樣品的情況以及等離子起輝的情況。

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