上海團(tuán)結(jié)儀器制造有限公司

一、儀器用途  TGB-600 大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
  硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測(cè)儀器之一。
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡類型 放大倍數(shù) 視場(chǎng)(mm) 
大視野目鏡 10X Φ22 
2.物鏡類別 放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑(NA) 工作距離(mm) 
明暗場(chǎng)無窮遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡 5X 0.12 9.7 
10X 0.25 9.3 
20X 0.40 7.3 
50X 0.70 2.5 
80X 0.80 1.25 
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X  100X  200X  500X  800X
4.三目鏡30°傾斜，雙目瞳距調(diào)節(jié)范圍：53~75mm
5.五孔轉(zhuǎn)換器
6.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值：0.8μm,
 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
7.載物臺(tái)機(jī)械式尺寸：280mmX270mm；移動(dòng)范圍橫向(X) 204mm，縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器，可360度旋轉(zhuǎn)，可推拉切換 ；檢偏振器，可推拉切換
9.照明系統(tǒng)12V 50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào) 
10.防霉:特有的防霉系統(tǒng)
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
三、系統(tǒng)組成 (TGB-600)：1.硅片顯微微   2.適配鏡   3.CCD攝像器   4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數(shù) TGB-600：50--3800倍 
五、選購(gòu)件 1.圖像測(cè)量軟件  2.目鏡： 10X(帶刻度)  3.物鏡：40X 60X