欣源科技（北京）有限公司

PlasmaSources等離子體源系列
法國SAIREM公司是擁有40多年的微波和射頻工程經驗的高科技公司，可為用戶定制電子設計、應用開發、工藝設計和生產標準化的微波、射頻、直流發生器、等離子體源等相關產品。
微波技術在等離子體實驗室和工業中不斷發現新的應用，這是由于微波等離子體的許多優點，例如，超密度等離子體-離子和活性物種，電極更少，在各種壓力下的操作。微波輔助等離子體在金剛石沉積、表面活化、殺菌、納米材料合成、氣體凈化等方面的應用。
為了滿足這些復雜技術所要求的越來越苛刻的要求，我們已經開發出了自己的等離子體源和反應器。
我們可以提供關于選擇等離子設備和適合你需要的微波頻率的建議，還可根據要求提供特殊配爿置，并且樂于幫助開發您自己應用的設備。
主要應用領域：
分析
金剛石沉積
表面清洗
蝕刻
防止污染
化學合成
(301)Downstream等離子體源
這種表面波的等離子體源產生等離子體，在一個標準的WR340波導中（直徑20-60毫米）。這種等離子體源可以根據壓力、微波功率和等離子氣體的性質，使長等離子體的點火和維持。
壓力范圍：10-2mbar到大氣壓力
氣體類型：Ar，N2，O2，空氣，……
最大功率：6kW
應用類型：自由基/反應性物種的產生，表面激活，PECVD，氣體減排，氣化，滅菌（UV），納米粒子合成
(302)Sur-fa-guide等離子體源
壓力范圍：mbar到atm
主要用于：氣體減排、氣化、滅菌、納米粉合成、表面活化、大氣高溫化學
(303)AURAW-A-V-E同軸ECR等離子體源（低壓等離子體）
KF/CF扌法蘭，同軸ECR等離子體源微波頭
，氟橡膠密封圈/無氧銅密封圈，同軸ECR等離子體源微波頭
，搭配固態微波發生器，可組成陣列
(304)HI-W-A-V-E同軸碰撞型等離子體源（中壓等離子體）
KF/CF法蘭，氟橡膠密封圈/無氧銅密封圈，欣源科技（北京）有限公司，欣源科技（北京），搭配固態微波發生器，可組成陣列
(305)S-W-A-V-E等離子體源（Sur-face W-A-V-Eplasmasource表面波等離子體源，搭配固態微波發生器），主要特點：
頻率2450MHz±50MHz
最大微波功率200W
集成到DBD點火系統（DielectricBarrierDischarge介質阻擋放電點火系統）
壓力范圍10-2mbar到大氣壓
Ar和基于Ar基混合物可在1atm下使用
所有氣體都可在更低壓力下使用
直徑6或8毫米的電介質管
Swagelok6mm氣體連接器
主要應用領域：表面活化、元素分析、原子層沉積、氣體減排、分子激活/物質活化、殺菌消毒、減少細菌附著、慢性傷口和受感染皮膚的治療
欣源科技SYNERCE獨家代理法國SAIREM產品系列，包括：
微波發生器(微波電源)2.45GHz系列、微波發生器(微波電源)915MHz系列、等離子體源(PlasmaSources、微波頭)、微波化學系列MWChemistry、射頻發生器(RF發生器、射頻電源)、用于等離子體的直流電源DC系列、微波等離子體專用水冷機系列

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