上海巖征實(shí)驗(yàn)儀器有限公司

巖征儀器硅片紫外臭氧清洗機(jī)是一種干式清洗，不需要任何的溶劑，是非常高效的精密清洗方式，同時(shí)對(duì)清洗表面沒(méi)有損傷。紫外臭氧清洗技術(shù)作為硅片清洗，TFT玻璃基等清洗應(yīng)用，也是表面改性的一種非常重要的技術(shù)。
巖征儀器硅片紫外臭氧清洗機(jī)光清洗過(guò)程提供一種簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗過(guò)程幾分鐘就可以達(dá)到專(zhuān)業(yè)級(jí)的清潔效果。   巖征儀器硅片紫外臭氧清洗機(jī)可以去除：皮膚油脂，有機(jī)硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。怎樣說(shuō)是“超”潔凈？    接觸角測(cè)量方法4－5度。適用AES和ESCA測(cè)量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測(cè)試，在冷凝和蒸發(fā)時(shí)形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下，使用清洗或是超聲清洗工序后，清潔關(guān)鍵表面認(rèn)為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用，產(chǎn)品的性能和可靠性的提升不斷的證明這種新的清洗尺度的價(jià)值。   巖征儀器硅片紫外臭氧清洗機(jī)工作原理：是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線(xiàn)。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生，有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線(xiàn)后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如CO2,H2O等。整個(gè)過(guò)程在室溫發(fā)生，并且只需要1到幾分鐘完成。 巖征儀器硅片紫外臭氧清洗機(jī)關(guān)鍵特性:    ?間歇式燈泡工作方式。    ?滑行部件托盤(pán)－光滑－低震動(dòng)，滾珠軸承系統(tǒng)－高度到1.5英寸。     ?堅(jiān)固耐用，全部不銹鋼結(jié)構(gòu)     ?長(zhǎng)壽命。低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進(jìn)快速氧化，去除微量的有機(jī)殘留物。     ?全面UV保護(hù)讓設(shè)備操作更安全。    ?更低設(shè)備采購(gòu)成本和操作成本。     ?0-999秒/分鐘/小時(shí)定時(shí)器，能夠精確控制。    ?UV "ON"指示燈和可見(jiàn)窗口。     ?操作簡(jiǎn)單：設(shè)定定時(shí)器，打開(kāi)門(mén)，抽出托盤(pán)，將元件放在托盤(pán)上。將托盤(pán)滑入并關(guān)閉門(mén)。在清洗操作過(guò)程結(jié)束有蜂鳴聲。打開(kāi)門(mén)，移開(kāi)全部的清洗元件。
巖征儀器硅片紫外臭氧清洗機(jī)典型應(yīng)用包括：
    ?表面的原子級(jí)清洗   ?聚合物粘接  ?去除有機(jī)分子  ?釋放捕獲的無(wú)機(jī)分子  ?微流控制作  ?微米/納米構(gòu)型  ?紫外光固化  ?表面化學(xué)改性  ?表面殺菌  ?表面氧化  ?金屬粘結(jié)準(zhǔn)備

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