簡介：
美國AEPTechnology公司主要從事半導體檢測設備，MEMS檢測設備，光學檢測設備的生產制造，是表面測量解決方案行業的領先供應者，專門致力于材料表面形貌測量與檢測。公司始終致力于微觀表面“三維”檢測技術和設備的研發及推廣，歷經近十年努力，已為30多個國家提供NanoMap系列三維表面形貌測量系統。
NanoMap-LS三維表面形貌/輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三維粗糙度（Sa，Sq，Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代。
特點：
1.    全自動軟件控制
2.    0.1到100mg接觸力
3.    垂直分辨率可達0.1nm。
4.    每次掃描最少100點，最多可達150，000數據點
5.    一體化彩色攝像機在掃描同時可直接觀察樣品
6.    簡單一鍵操作與用戶友好的操作界面
 
應用領域：
測量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測量無須擔心劃傷或破壞。設備傳感器精度高，穩定性好。熱噪聲是同類產品最低的。
 
主要技術參數
垂直分辨率:0.1nm
重復性:0.54nm(1Sigema@1um)
垂直范圍:524um（1mm可選）
掃描范圍:150mmx150mm