廣州譚美電子科技有限公司

603-III 高真空磁控濺射設(shè)備

型號：603-III
地點：美國
狀態(tài)：AS IS，WHERE IS （我們提供翻新、安裝、保修服務(wù)，額外收取合理費用
包裝：賣方負責(zé)（如果需要）
保修/退款：無 說明：Inline Sputtering System
真空系統(tǒng)：Cryo Pumped ，Vacuum System CTI CryoTorr 8 with CTI 8500 Series Compressor， Leybold D60A Roughing Pump
Target尺寸：4 3/4" x 14 7/8"
DC陰極數(shù)量：3
RF陰極數(shù)量：0
RF刻蝕陰極數(shù)量：1
工藝氣體數(shù)量：1
殘余氣體分析儀：0
DC Power：10.00 kW DC （MRC制造）
RF Generator：1500 Watts（MRC制造）
RF Matching Network：包括
其他信息：Controller:
? Analog closed-loop control and monitored by microcomputer
? Process is fully automatic
? Process parameters are accomplished via keyboard entry and displayed on CRT
Substrate pallet size: 13" x 13"
Pallet carrier: Chain drive. Speed adjustable from 39.3"/min to 120"/min
Quartz substrate heater adjustable to 600 C.
INSET DC cathodes
Facilitiy Requirements
? Water: 4.0 gpm， 70 psig， 60 degrees F
? Air: 70-100 psig， filtered， 1 cfm.
? Sputtering gas: 3-5 psig
動力要求： 208 V 60 Hz 3 Phase
尺寸：
Width 78.000 in (198.1 cm)
Depth 56.000 in (142.2 cm)
Height 72.000 in (182.9 cm)
重量： 2，288 lb (1，038 kg)
如果對此設(shè)備有興趣，請郵件聯(lián)系我們。
 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司的產(chǎn)品，公司主要經(jīng)營高真空磁控濺射設(shè)備、量測設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、PECVD設(shè)備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設(shè)備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設(shè)備。

我們擁有廣泛的采購網(wǎng)絡(luò)、強大的專業(yè)設(shè)備服務(wù)隊伍、先進的質(zhì)量檢驗檢測手段和國際領(lǐng)先的軟件開發(fā)和升級技術(shù)，可為客戶提供各類進口半導(dǎo)體設(shè)備及備品備件、并提供長期優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)及技術(shù)支持保障。通過技藝精湛的設(shè)備生產(chǎn)、翻新，保證我們的設(shè)備具有出色的運作表現(xiàn)，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產(chǎn)成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務(wù)與支持，以高質(zhì)量的產(chǎn)品、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經(jīng)營理念和宗旨，為中國半導(dǎo)體工業(yè)、微電子工業(yè)、航天航空、研究機構(gòu)、高等院校、私營和合資企業(yè)提供優(yōu)質(zhì)設(shè)備和售后服務(wù)，為廣大用戶提供高科技、高性價比產(chǎn)品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業(yè)的技術(shù)、專注的服務(wù)，共創(chuàng)雙贏互利的合作關(guān)系。

經(jīng)營產(chǎn)品：

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零件銷售：

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