真空技術在冶金、化工、輕工、食品、醫藥等領域得到了十分廣泛的應用,在太陽能光伏產業不斷升溫的大環境下,太陽能光伏產業屬于國家鼓勵發展的新能源與可再生能源產業,符合國家產業導向,半導體設備廠商也迎來了新的發展機遇。
在大規模集成電路和太陽能光伏的發展中,單晶爐是硅材料制備的關鍵設備,在產業鏈中具有舉足輕重的地位。單晶爐真空閥是單晶硅制造生長過程的工藝設備中必不可少的控制裝置??票菊婵臻y門專業生產的單晶爐真空球閥的法蘭標準有兩種:活套真空法蘭:GB/T6070和真空快卸法蘭:GB4982。
單晶爐真空閥的結構通常為直通式單晶爐真空球閥,閥門驅動方式有適用于手動、氣動和電動。靠球面密封,因而既能用在真空狀態下,也能在低壓狀態下使用。并可以任意位置安裝。
單晶爐真空閥適用的工作介質為帶酸、堿性的氣體或液體。
閥體材料:304不銹鋼 連接方式:法蘭連接
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