TFT-LCD生產(chǎn)潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置中的幾個問題(凈化知識) 
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(1) 新風(fēng)處理
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1、TFT-LCD生產(chǎn)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)處理,一般采用集中方式處理,空氣處理裝置采用組合式空調(diào)機(jī)組,機(jī)組功能設(shè)置有:新風(fēng)入口；初效過濾器；中效過濾器；預(yù)熱盤管；預(yù)冷卻盤；淋水室；除濕冷卻盤管；再熱盤管；風(fēng)機(jī)；高效過濾器；新風(fēng)出口。
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(2) 冷熱源節(jié)能選擇
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熱源： 一個月產(chǎn)90K的5代TFT-LCD生產(chǎn)線的潔凈室面積約為:10萬M2,其凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量約為1920000M3/H,新風(fēng)機(jī)組處理后的參數(shù):溫度14oC,相對濕度95%,為使全年各個季節(jié)都能確保上面的新風(fēng)參數(shù),需消耗大量的能量,因此合理選擇新風(fēng)機(jī)組的冷熱源供應(yīng),為TFT-LCD工廠運(yùn)行過程降低能量消耗創(chuàng)造條件。具體TFT-LCD工程的熱源應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貤l件認(rèn)真分析選擇。為確保TFT-LCD潔凈廠房室內(nèi)溫度，通常表冷器要使用14/19oC冷水，即制冷機(jī)在冬季或過渡季仍需運(yùn)行，為了減少熱能消耗，降低能源費(fèi)用，可將冷凍機(jī)制冷過程式的冷凝熱充分利用，用于加熱盤管的加熱，在制冷站設(shè)計(jì)時，采用帶熱回收的冷凍機(jī)組，可提供的50/45oC或45/40oC熱水。
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冷源：TFT-LCD潔凈廠房新風(fēng)機(jī)組的預(yù)冷盤管、除濕盤管和干盤管，一般采用兩種水溫的冷凍水，從節(jié)能考慮，預(yù)冷盤管和干盤管采用水溫高于潔凈室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度的冷水，一般為14/19oC；為了保證室內(nèi)的相對濕度，除濕盤管采用7/13oC。因此，根據(jù)具體工程的規(guī)模，設(shè)備配置等因素，可采用2種冷凍水供水溫度的制冷機(jī)，由于冷凍機(jī)出水溫度提高，可提高冷凍機(jī)COP值，可以達(dá)到節(jié)能的目的。
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（3）加濕及相對溫度控制
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新風(fēng)加濕采用純水制備過程的一級反滲透水淋洗，既可確保生產(chǎn)區(qū)的相對溫度，又可以去除空氣中對和產(chǎn)有害的雜質(zhì)氣體。
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潔凈室的相對溫度是由新風(fēng)機(jī)組保證，它是通過設(shè)在新風(fēng)處理機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度控制除濕冷盤管的冷凍水供水量和預(yù)熱盤管的熱水流量，且機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度還應(yīng)根據(jù)其對應(yīng)送風(fēng)區(qū)域內(nèi)實(shí)時檢測的溫度進(jìn)行連續(xù)的整定，從而確保潔凈室（區(qū)）的相對濕度。
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（4）潔凈室（區(qū)）的壓力、溫度控制
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TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈室（區(qū)）的壓力，一般控制在30Pa,該壓力通常是由凈化空調(diào)系統(tǒng)供應(yīng)的新風(fēng)量進(jìn)行控制?？刂频姆椒ㄊ切嘛L(fēng)機(jī)組采用變頻風(fēng)機(jī)，該風(fēng)是以潔凈室（區(qū)）內(nèi)的正壓值控制風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速以確保必需的新風(fēng)量。目前在5代TFT-LCD生產(chǎn)線，對生產(chǎn)環(huán)境參數(shù)（空氣潔凈度、壓力、溫濕度等）的可靠性有較高的要求，因此新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)設(shè)