廣東深圳市通發激光設備有限公司

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              光釬激光打標機加工中淀積溫度的作用淀積溫度也是重要的工藝參數之一。由于淀積機制的不同，它對淀積膜質量的影響程度也不同。同一反應體系在不同溫度下，淀積膜可以是單晶、多晶、非晶相結構，甚至根本不發生淀積。一般地說.提高淀積溫度可以使淀積速度加快，同時，由于提高了成品粒子的遷移能力和能量，往往會使淀積膜的結構和形貌都得到改善。然而，溫度太高則可能引起淀積物的蒸發和剝離，反而降低生長速率。淀積溫度還影響淀積膜的純度。

　　一股襯底材料的純度不是很高，淀積溫度較高時，襯底內的雜質可能揮發，以氣相淀積的方式進入淀積膜，或直接經過襯底—淀積膜界面進入淀積膜，這就降低了淀積膜的質量，這種現象稱為‘自摻雜效應”。為避免自摻雜效應，淀積溫度應盡可能的低。另一方面，外延生長時，持別是異質外延生長時，兩種材料的熱學性質不同，因熱失配形成的應力會在界面造成大量結構缺陷，并向外延層傳播。由于這種應力的作用，也可能產生新的錯位等缺陷，因此也要求盡量采用較低的襯底溫度。

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